前言

量子計算機(jī)被譽(yù)為新一輪科技革命得戰(zhàn)略制高點，能夠在眾多關(guān)鍵技術(shù)領(lǐng)域提供超越經(jīng)典計算機(jī)極限的核心計算能力。芯片是量子計算機(jī)的核心，研究表明當(dāng)量子芯片比特數(shù)達(dá)到50~100時，量子計算機(jī)就有可能進(jìn)行有價值的量子計算。

央視視頻截圖

視頻截圖中展示的是制造量子計算機(jī)芯片前期工作重要的一環(huán)---勻膠工藝和曝光后的顯影工藝。

科研人員所用的設(shè)備（紅框中）系江蘇雷博科學(xué)儀器有限公司研發(fā)的AC200-SE-CTM自動勻膠機(jī)和AC200-S-CTM自動顯影機(jī)。

勻膠機(jī)為自動擺臂與4路滴膠功能，顯影機(jī)則是擁有雙自動擺臂、3路顯影、1路純水、1路氮氣的功能，可處理1cm至8英寸晶圓。

量子芯片工作在-270℃左右的環(huán)境中，與普通芯片有較大區(qū)別，因此量子芯片的材料、生產(chǎn)工藝等也與普通芯片不同，這對生產(chǎn)設(shè)備提出了特殊的要求。

               自動勻膠機(jī)                                   自動顯影機(jī)

產(chǎn)品詳情

總結(jié)

通過量子計算機(jī)整機(jī)順利交付，可從側(cè)面反映出雷博科儀勻膠顯影設(shè)備與光刻機(jī)的工藝方面需求已經(jīng)通過驗證。

此次的重大突破，也體現(xiàn)了雷博科儀勻膠顯影設(shè)備在半導(dǎo)體行業(yè)的適配性和專業(yè)性。